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本発明に係るハンドリング装置は、上記のいずれかのハンドリングユニットと、該ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、前記シリンダ構造内に流体を供給する流体供給手段と、前記ユニット駆動系及び前記流体供給手段を制御する制御部と、を具備する。ここで、前記シリンダ構造内の前記作動体の軸線方向の位置を検出する作動体位置検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記コレットの軸線方向の位置を検出するコレット位置検出手段をさらに具備することが好ましい。さらに、本発明において、複数の前記フィンガー部若しくは前記弾性変形部の振動、歪、変位などの個々の変位態様或いは変位態様の差若しくは比を検出する把持態様検出手段をさらに具備することが好ましい。また、本発明において、前記フィンガー部によって把持された把持対象物の物理量を検出する把持対象物検出手段をさらに具備することが好ましい。この把持対象物検出手段は、例えば、前記フィンガー部に設けられた、熱電対、導電センサ、振動センサなどの各種検出器で構成できる。

基端部12bの軸線10xを中心とする中央部分には支持部12dが形成される。この支持部12dには、上記軸孔11xに連通する通気口12qが形成される。一方、先端部12cには、軸線10xが通過する中央部分において本体12aの内部に連通する開口部12oが設けられている。この開口部12o内には、上記コレット11の複数のフィンガー部11cと、これらのフィンガー部11cの把持面11gによって把持対象物が把持されることとなる把持空間とが配置される。また、この開口部12oの上記本体12aの内部に臨む開口内縁は、上記コレット11の係止段部11dに対して軸線方向先端側から当接するコレット係止部12rとなっている。

この場合において、前記流体供給手段は圧力調整器を備え、上記制御部は、前記圧力調整器を制御することにより前記流体圧を調整可能に構成されることが好ましい。このとき、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、或いは、前記把持対象物検出手段の少なくとも一つの検出結果に応じて前記流体圧を調整することが望ましい。また、上記制御部は、前記コレット位置検出手段と前記把持態様検出手段の少なくとも一方の検出結果に基づいて、前記ユニット駆動系を制御し、前記ハンドリングユニットの位置又は姿勢を修正することが好ましい。さらに、上記制御部は、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、又は、前記把持対象物検出手段の検出結果に基づいて、前記フィンガー部により把持した前記把持対象物に対する処理内容を複数の選択肢の中から選択することが好ましい。このとき、前記制御部は、選択された前記処理内容に応じて前記流体供給手段と前記ユニット駆動系の少なくとも一方を制御することが望ましい。

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その上、本実施形態では、シリンダ構造12sの内面に対する作動体13のシリンダ摺接部13sの気密なシール領域の軸線方向の範囲内に、上記基準部11aと支持面部13bの摺接構造が配置されるので、コレット11(特に基準部11a)の外周側にもシリンダ構造12sの一部が配置されるため、軸線方向のコンパクト化を図ることができる。また、シリンダ構造12sの上記シール領域の内周側に支持面部13bが配置されることで、支持面部13bの支持面の位置及び姿勢の高精度化を図ることができるため、コレット11の把持精度や繰り返し精度をさらに向上できる。

各弾性変形部11bの軸線方向先端側には、フィンガー部11cが接続される。フィンガー部11cは軸線10xに向いた把持面11gを備える。なお、図示例では、把持面11gは、軸線10xを中心とする円弧筒状の内周面(中心角が120度弱)で構成されるが、これに限定されず、図示しない把持対象物に対応するものであれば、楕円状、平坦状などの任意の内面形状であってもよい。フィンガー部11cの外面上には、軸線方向先端側に向いた係止段部11dが設けられるとともに、この係止段部11dの軸線10xの方向の基端側(図示右側、以下、単に「軸線方向基端側」という。)には、軸線方向基端側に斜めに向いて傾斜した円錐面状の被動面11tが、各弾性変形部11b及びフィンガー部11c毎にそれぞれ設けられる。さらに、この被動面11tの一部(一つ)には、軸線10xに沿って延びる、外周側に開放された規制溝11pが設けられる。

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前記筒体の内周と前記軸体の前記大径胴部との間の環状隙間は、前記大径胴部の軸方向の中心位置で小さく、前記中心位置から離れるほど大きくなるように設けられ、

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前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を有する加工工具用保持具を前記工作機械に取り付け、かつ前記チャック部に前記加工工具をチャックし、

図3には、第2実施形態のハンドリングユニット20の縦断面図(a)及び背面図(b)を示す。この第2実施形態では、第1実施形態と同様のコレット21、ハウジング22及び作動体23を備え、第1実施形態と同様のコネクタ28を介して流体供給口22pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング22の支持部22dに設けられた通気口22qにコネクタ29を接続し、コネクタ29を介して通気口22qから軸孔21x内へ流体を供給したり、軸孔21x内から通気口22qを介して流体を排出したりすることができるようになっている点で第1実施形態と異なる。ここで、通気口22qは、後述する排気装置や流体供給源に接続される場合において上記流体吸排口を構成する。

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