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一方、上記の位置F3では、複数のフィンガー部11cの軸芯が把持対象物Pの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部101による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット10が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部11cの先端が把持対象物Pに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット11は、保持ばね15の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体13の駆動部13cから被動部11tが駆動力を受けてしまい、把持対象物Pを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Pに接触したフィンガー部11cに対応する把持態様検出器S3~S5のいずれかの検出信号Sdが変化したり、或いは、上記コレット11の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器S2の検出信号Scが変化することにより、制御部101が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器S3~S5の検出信号Sdが変化したフィンガー部11cがどれか、複数のフィンガー部11cの幾つにおいて検出信号Sdが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器S2の検出信号Sdによってコレット11の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。

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尚、本発明の方法及び装置は、上述の図示例のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記各実施形態では、それぞれ他の実施形態と異なる構成を有するが、各実施形態の構成は、相互に支障を生じない限り、相互に置換したり、相互に組み合わせたりして、種々に採用し、任意の組み合わせで構成することが可能である。また、上記実施形態において、各ハンドリングユニットは、ハンドリング装置のユニット駆動系によって任意の位置及び姿勢に制御できることを前提として構成されているが、例えば、ハンドリングユニット内に、コレット、ハウジング及び作動体の軸線周りの回動機構を組み込むなど、付加的な機能を与えることも可能である。

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前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を備えたことを特徴とする加工工具用保持具。 前記軸体は、前記環状弾性体に支持される大径胴部を有し、

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前記筒体の前記軸体よりも前記基部側に収容され、前記軸体を先端方向に付勢するコイルばねと、

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前記軸体の前記先端部に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部と、を有する加工工具用保持具を前記工作機械に取り付け、かつ前記チャック部に前記加工工具をチャックし、

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